本書簡介：
在我們生活的世界中，各種各樣形形色色的事物和現(xiàn)象，其中都必定包含著“科學”的成分。在這些成分中，有些是你所熟知的，有些是你未知的，有些是你還一知半解的。面對未知的世界，好奇的你是不是有很多疑惑、不解和期待呢？“形形色色的科學”趣味科普叢書，把我們身邊方方面面的科學知識活靈活現(xiàn)、生動有趣地展示給你，讓你在暢快閱讀中收獲這些鮮活的科學知識！我們最新式的筆記本電腦和手機在變得越來越小的同時，性能卻得到了幾倍幾十倍的提升。正是因為薄膜這種尖端的納米技術，我們的生活中才有了大屏幕超薄液晶電視、超大容量存儲媒介、越來越輕巧功能卻越來越強大的各種電子產(chǎn)品。就讓麻蒔立男所著的這本《微小世界里的新天地：神奇的薄膜》為你生動地講解一下這項支撐現(xiàn)代高科技社會的基礎技術吧。
《微小世界里的新天地：神奇的薄膜》適合青少年讀者、科學愛好者以及大眾讀者閱讀。
作者簡介：
�。ㄈ眨┞樯P立男，1934年生于日本愛知縣，1957年靜岡大學工學部電子工學專業(yè)畢業(yè)，同年加入日本電氣株式會社，1967年被調(diào)任至日電Valian(現(xiàn)佳能ANELVA株式會社)，1990年至2010年任東京理科大學教授和返聘教授、日本真空協(xié)會個人理事、工學博士。主要著作有《話說真空》、《薄膜制作基礎》、《超微細加工基礎》、《簡明電磁學》、《超微細加工人門》、《簡明薄膜讀本》(日刊工業(yè)出版社)等。譚毅，1993年3月獲東京工業(yè)大學金屬工學博士學位；1997年10月在日本超高溫材料研究所任新能源產(chǎn)業(yè)技術綜合開發(fā)機構研究員；2001年5月任美國加州大學洛杉磯分校材料科學與工程系研究員；2009年9月受聘于大連理工大學，任材料學院教授、能源研究院副院長至今�，F(xiàn)從事冶金法提純多晶硅材料、薄膜材料、高溫材料等新能源材料的研究。史蹟，1984年畢業(yè)于大連理工大學金屬材料專業(yè)；1993年赴日本留學；1997年獲東京工業(yè)大學金屬工學博士學位，后任日本國立電氣通信大學量子物質(zhì)工學助教；2004年任東京工業(yè)大學材料工學副教授至今。現(xiàn)從事金屬物理、功能材料、結構分析等材料科學的研究。
目錄：
第1章幸福生活從美麗與微觀開始
001展現(xiàn)繽紛色彩的顏料用微小粉末描繪美麗世界
002復制美麗——相片彩色相片與數(shù)碼相機
003薄膜技術使機器人不斷進化利用薄膜材料與計算機進行精密制備
004創(chuàng)造五種感官視覺、聽覺、嗅覺、味覺與觸覺的創(chuàng)造
005制造人工智能
006我們身邊的電子產(chǎn)品都在使用薄膜
007利用不分解的壓延技術,可以薄到什么程度
008制造薄膜與制作精細圖案
COLUMN真空的含義
第2章制備薄膜的重要環(huán)境條件——真空
009真空——壓強低于大氣壓的空間狀態(tài)
010真空的單位與壓強的單位：帕斯卡(Pa)
011抽出和吸附——真空泵的分類
012真空的分析和測量真空計第1章幸福生活從美麗與微觀開始
001展現(xiàn)繽紛色彩的顏料用微小粉末描繪美麗世界
002復制美麗——相片彩色相片與數(shù)碼相機
003薄膜技術使機器人不斷進化利用薄膜材料與計算機進行精密制備
004創(chuàng)造五種感官視覺、聽覺、嗅覺、味覺與觸覺的創(chuàng)造
005制造人工智能
006我們身邊的電子產(chǎn)品都在使用薄膜
007利用不分解的壓延技術,可以薄到什么程度
008制造薄膜與制作精細圖案
COLUMN真空的含義
第2章制備薄膜的重要環(huán)境條件——真空
009真空——壓強低于大氣壓的空間狀態(tài)
010真空的單位與壓強的單位：帕斯卡(Pa)
011抽出和吸附——真空泵的分類
012真空的分析和測量真空計
013真空裝置的制造方法
COLUMN質(zhì)量瞬移
第3章薄膜的制備
014薄膜的形成——先氣化,再固化沉積
015四種氣化源
016單層生長與形核長大薄膜的生長①
017薄膜內(nèi)部缺陷薄膜的生長②
018僅有薄膜還不夠薄膜與基板的結合
019目標：單晶薄膜
COLUMN出身和教育同樣重要044viv
第4章薄膜特有的性質(zhì)
020薄膜的密度和厚度會隨時間減小
021薄膜電阻的變化比體材料大
022熱穩(wěn)定性降低通過時效處理加以克服
COLUMN薄膜和基板的連接
第5章增強基板與薄膜結合的技術
023制膜的基礎：平整的基板
024前期處理：使基板表面完全裸露
025前期處理的最后工序：干燥
026制備附著強度更強的薄膜
027改變氣化源、增加附著強度
028薄膜與基板的相合性更為重要
029著陸點：險峻的山地
030得到希望的薄膜組成
031制造用于大面積集成電路的非晶薄膜
032電遷移斷線及其解決方法
COLUMN太陽之子——等離子體
第6章等離子體在薄膜制備中的重要性
033等離子體的神奇之處及其應用
034通過放電獲得等離子體
035低氣壓(良好真空)下的磁控放電
036產(chǎn)生薄膜用等離子體的五種方法
037薄膜制備的難題——塵埃
COLUMN望遠鏡和照相機視場變亮的奧秘
第7章從古代沿用至今的蒸鍍法
038蒸發(fā)源
039加工等厚膜的方法
040離子鍍的使用
041進一步發(fā)揮離子的作用
042防止蒸鍍材料與薄膜間的成分變化激光沉積法
043制作透明導電的薄膜透明導電薄膜的蒸鍍方法
COLUMN活學活用
第8章大面積氣化源、適于批量生產(chǎn)的濺射法
044濺射率是由離子能量和薄膜材料的種類決定的
045濺射產(chǎn)生的原子遵循余弦法則且速度非�？�
046濺射的主要方式
047以低電壓、定壓(高真空)為目標的磁控濺射
048支撐半導體IC高集成度發(fā)展的鋁合金濺射
049利用反應濺射制作高性能電阻膜
050用濺射法制作氧化物高溫超導膜
051低電壓下制造透明導電膜(氧化物)ITO
052薄膜加工的過渡——從平面成膜到微孔成膜
053利用離子進行超微細孔的填埋
054向高真空、無氬氣濺射的過渡
COLUMN神奇的過程——從氣體到薄膜
第9章由氣體制作薄膜的氣相沉積法
055氣體向固體的轉(zhuǎn)變：薄膜的氣相沉積
056很多的CVD方法已被實用化
057CVD法制備IC中至關重要的硅系薄膜
058高清彩色電視用的硅薄膜
059高誘電率薄膜和低誘電率薄膜的制作
060用氣相沉積法制備金屬導體薄膜
061表面改性法制備氧化薄膜、氮化薄膜
COLUMN從水(液體)中提取薄膜(固體)
第10章在液體中制作鍍膜
062鍍膜技術的發(fā)展
063液相鍍膜和真空薄膜中的核生長
064精密鍍膜在電氣領域的應用
COLUMN用世界上最小的刀進行切削加工
第11章將薄膜加工成電路、晶體管等的蝕刻技術
065蝕刻法制備圖樣：在正確的位置加工正確的形狀
066用氣體離子進行蝕刻
067最關鍵的一步——等離子體的制備
068反應氣體是重要的
069決定蝕刻的條件
070利用極細離子束進行故障修理
071利用CMP進行平坦化處理
072無CMP的平坦化技術
COLUMN向偉大的夢想前進！
第12章薄膜發(fā)展的無限可能性
073操控原子，制造未來儀器
074薄膜——帶動世界通信網(wǎng)絡發(fā)展
075用微動同步器挽救生命
076生物計算機的使用
參考文獻
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