作品介紹

蒸發(fā)及外延法晶體生長技術(shù)

作者：德哈納拉整理日期：2023-01-17 03:37:57

　　《springer手冊(cè)精選系列·晶體生長手冊(cè)（第4冊(cè)）：蒸發(fā)及外延法晶體生長技術(shù)（影印版）》的主題是氣相生長。這一部分提供了碳化硅、氮化鎵、氮化鋁和有機(jī)半導(dǎo)體的氣相生長的內(nèi)容。隨后的parte是關(guān)于外延生長和薄膜的，主要包括從液相的化學(xué)氣相淀積到脈沖激光和脈沖電子淀積。

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